Luogo di origine:
Cina
Marca:
KACISE
Certificazione:
CE
Numero di modello:
KGD-MQ-537
KGD - MQ - 537 Sensore di gas a infrarossi
Introduzione del prodotto
Il sensore di gas a infrarossi KGD-MQ-537 è basato sulla tecnologia a infrarossi non dispersivi (NDIR). Può misurare con precisione gas come SiF4, CF4, SF6, NF3,e CO2 generati nelle applicazioni dei semiconduttoriÈ compatibile con le dimensioni, le flange e i protocolli di comunicazione preimpostati all'interno delle apparecchiature. Può essere utilizzato per il rilevamento dei punti terminali nei processi di deposizione e pulizia dei semiconduttori,nonché rilevamento terminale per la pulizia della camera, contribuendo a ridurre i tempi di pulizia, a ridurre i costi e ad aumentare la produzione.
Caratteristiche del prodotto
Parametri tecnici
Parametro | Dettagli |
Principio di rilevamento | Indirizzo |
Gas rilevati | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Distanza di misura | 1 - 264 ppm (0 - 200 mTorr) |
Ripetibilità | ± 0,5% |
Linearità | ± 1% F.S. |
Limite di rilevamento | 1 ppm |
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