Luogo di origine:
Cina
Marca:
KACISE
Certificazione:
CE
Numero di modello:
KGD-MQ-537
| Attributo | Valore |
|---|---|
| Principio di Rilevamento | NDIR |
| Gas Rilevati | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| Intervallo di Misurazione | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
| Ripetibilità | ±0.5% |
| Linearità | ±1%F.S. |
| Limite di Rilevamento | 1ppm |
Il sensore gas a infrarossi KGD - MQ - 537 si basa sulla tecnologia infrarossa non dispersiva (NDIR). Può misurare con precisione gas come SiF4, CF4, SF6, NF3 e CO2 generati nelle applicazioni dei semiconduttori. È compatibile con dimensioni, flange e protocolli di comunicazione preimpostati comuni all'interno delle apparecchiature. Può essere utilizzato per il rilevamento del punto finale nei processi di deposizione e pulizia dei semiconduttori, nonché per il rilevamento terminale per la pulizia della camera, contribuendo a ridurre i tempi di pulizia, ridurre i costi e aumentare la produzione.
| Parametro | Dettagli |
|---|---|
| Principio di Rilevamento | NDIR |
| Gas Rilevati | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| Intervallo di Misurazione | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
| Ripetibilità | ±0.5% |
| Linearità | ±1%F.S. |
| Limite di Rilevamento | 1ppm |
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