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1 264ppm 0 200mTorr Distanza di misura KGD MQ 537 Sensore di gas a infrarossi

1 264ppm 0 200mTorr Distanza di misura KGD MQ 537 Sensore di gas a infrarossi

Sensore di gas ad alta linearità a infrarossi

0 200mTorr Sensore di gas a infrarossi

1 264 ppm Sensore di gas a infrarossi

Luogo di origine:

Cina

Marca:

KACISE

Certificazione:

CE

Numero di modello:

KGD-MQ-537

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Dettagli del prodotto
Detection Principle:
NDIR
Detected Gases:
SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2
Measuring Range:
1 - 264ppm (0 - 200mTorr)
Repeatability:
±0.5%
Linearity:
±1%F.S.
Detection Limit:
1ppm
Evidenziare:

Sensore di gas ad alta linearità a infrarossi

,

0 200mTorr Sensore di gas a infrarossi

,

1 264 ppm Sensore di gas a infrarossi

Termini di pagamento e di spedizione
Quantità di ordine minimo
1 PCS
Imballaggi particolari
ogni unità ha una scatola individuale e tutte le scatole sono confezionate in imballaggi standard o
Tempi di consegna
5-8 giorni lavorativi
Termini di pagamento
L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union, MoneyGram
Capacità di alimentazione
1000 pezzi/settimana negoziabili
Descrizione del prodotto
1 - 264ppm 0 - 200mTorr Intervallo di Misurazione Sensore Gas Infrarossi KGD MQ 537
Attributo Valore
Principio di Rilevamento NDIR
Gas Rilevati SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2
Intervallo di Misurazione 1 - 264ppm (0 - 200mTorr)
Ripetibilità ±0.5%
Linearità ±1%F.S.
Limite di Rilevamento 1ppm
KGD - MQ - 537 Sensore Gas Infrarossi
Introduzione al Prodotto

Il sensore gas a infrarossi KGD - MQ - 537 si basa sulla tecnologia infrarossa non dispersiva (NDIR). Può misurare con precisione gas come SiF4, CF4, SF6, NF3 e CO2 generati nelle applicazioni dei semiconduttori. È compatibile con dimensioni, flange e protocolli di comunicazione preimpostati comuni all'interno delle apparecchiature. Può essere utilizzato per il rilevamento del punto finale nei processi di deposizione e pulizia dei semiconduttori, nonché per il rilevamento terminale per la pulizia della camera, contribuendo a ridurre i tempi di pulizia, ridurre i costi e aumentare la produzione.

1 264ppm 0 200mTorr Distanza di misura KGD MQ 537 Sensore di gas a infrarossi 0
Caratteristiche del Prodotto
  • Utilizza la tecnologia NDIR, supporta il monitoraggio multi-gas (inclusi SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2, ecc.)
  • Tempo di risposta rapido e alta sensibilità
  • Nessun materiale di consumo
  • Comunicazione analogica/digitale
  • Design modulare per una facile integrazione
Parametri Tecnici
Parametro Dettagli
Principio di Rilevamento NDIR
Gas Rilevati SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2
Intervallo di Misurazione 1 - 264ppm (0 - 200mTorr)
Ripetibilità ±0.5%
Linearità ±1%F.S.
Limite di Rilevamento 1ppm

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