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KGD-MQ-537 Sensore di gas a infrarossi NDIR con monitoraggio multigas e limite di rilevamento di 1 ppm per applicazioni a semiconduttore

KGD-MQ-537 Sensore di gas a infrarossi NDIR con monitoraggio multigas e limite di rilevamento di 1 ppm per applicazioni a semiconduttore

Sensore di gas ad alta linearità a infrarossi

0 200mTorr Sensore di gas a infrarossi

1 264 ppm Sensore di gas a infrarossi

Luogo di origine:

Cina

Marca:

KACISE

Certificazione:

CE

Numero di modello:

KGD-MQ-537

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Dettagli del prodotto
Detection Principle:
NDIR
Detected Gases:
SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2
Measuring Range:
1 - 264ppm (0 - 200mTorr)
Repeatability:
±0.5%
Linearity:
±1%F.S.
Detection Limit:
1ppm
Evidenziare:

Sensore di gas ad alta linearità a infrarossi

,

0 200mTorr Sensore di gas a infrarossi

,

1 264 ppm Sensore di gas a infrarossi

Termini di pagamento e di spedizione
Quantità di ordine minimo
1 PCS
Imballaggi particolari
ogni unità ha una scatola individuale e tutte le scatole sono confezionate in imballaggi standard o
Tempi di consegna
5-8 giorni lavorativi
Termini di pagamento
L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union, MoneyGram
Capacità di alimentazione
1000 pezzi/settimana negoziabili
Descrizione del prodotto
Sensore di gas a infrarossi KGD-MQ-537
Visualizzazione del prodotto
KGD - MQ - 537 Sensore a gas a infrarossi

Il sensore a gas a infrarossi KGD-MQ-537 utilizza la tecnologia a infrarossi non dispersivi (NDIR) per misurare con precisione gas tra cui SiF4, CF4, SF6, NF3 e CO2 nelle applicazioni per semiconduttori.Progettato con compatibilità per dimensioni comuni di apparecchiature, flange e protocolli di comunicazione, questo sensore è ideale per il rilevamento dei punti terminali nei processi di deposizione e pulizia dei semiconduttori, nonché per il rilevamento dei terminali per la pulizia delle camere,ridurre il tempo di pulizia, ridurre i costi e aumentare la produzione.

KGD-MQ-537 Sensore di gas a infrarossi NDIR con monitoraggio multigas e limite di rilevamento di 1 ppm per applicazioni a semiconduttore 0
Caratteristiche chiave
  • Utilizza la tecnologia NDIR con capacità di monitoraggio multi-gas (SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2, ecc.)
  • Tempo di risposta rapido e elevata sensibilità
  • Non sono richiesti materiali di consumo
  • Opzioni di comunicazione analogica/digitale
  • Progettazione modulare per una facile integrazione
Specifiche tecniche
Parametro Dettagli
Principio di rilevamento Indirizzo
Gas rilevati SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2
Distanza di misura 1-264ppm (0-200mTorr)
Ripetibilità ± 0,5%
Linearità ± 1% F.S.
Limite di rilevamento 1 ppm

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