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1 264ppm 0 200mTorr Distanza di misura KGD MQ 537 Sensore di gas a infrarossi

1 264ppm 0 200mTorr Distanza di misura KGD MQ 537 Sensore di gas a infrarossi

Sensore di gas ad alta linearità a infrarossi

0 200mTorr Sensore di gas a infrarossi

1 264 ppm Sensore di gas a infrarossi

Luogo di origine:

Cina

Marca:

KACISE

Certificazione:

CE

Numero di modello:

KGD-MQ-537

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Dettagli del prodotto
Principio di rilevazione:
ndir
Gas rilevati:
SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2
Intervallo di misura:
1 - 264 ppm (0 - 200 mTorr)
Ripetibilità:
± 0,5%
Linearità:
±1% F.S.
Limite di rilevamento:
1PPM
Evidenziare:

Sensore di gas ad alta linearità a infrarossi

,

0 200mTorr Sensore di gas a infrarossi

,

1 264 ppm Sensore di gas a infrarossi

Termini di pagamento e di spedizione
Quantità di ordine minimo
1 PCS
Imballaggi particolari
ogni unità ha una scatola individuale e tutte le scatole sono confezionate in imballaggi standard o
Tempi di consegna
5-8 giorni lavorativi
Termini di pagamento
L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union, MoneyGram
Capacità di alimentazione
1000 pezzi/settimana negoziabili
Descrizione del prodotto

KGD - MQ - 537 Sensore di gas a infrarossi

Introduzione del prodotto

Il sensore di gas a infrarossi KGD-MQ-537 è basato sulla tecnologia a infrarossi non dispersivi (NDIR). Può misurare con precisione gas come SiF4, CF4, SF6, NF3,e CO2 generati nelle applicazioni dei semiconduttoriÈ compatibile con le dimensioni, le flange e i protocolli di comunicazione preimpostati all'interno delle apparecchiature. Può essere utilizzato per il rilevamento dei punti terminali nei processi di deposizione e pulizia dei semiconduttori,nonché rilevamento terminale per la pulizia della camera, contribuendo a ridurre i tempi di pulizia, a ridurre i costi e ad aumentare la produzione.

1 264ppm 0 200mTorr Distanza di misura KGD MQ 537 Sensore di gas a infrarossi 0

Caratteristiche del prodotto

  • Utilizza la tecnologia NDIR, supporta il monitoraggio multi-gas (inclusi SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2, ecc.).
  • Tempo di risposta veloce e sensibilità elevata.
  • Niente consumabili.
  • Comunicazione analogica/digitale.
  • Progettazione modulare per una facile integrazione.

Parametri tecnici

Parametro Dettagli
Principio di rilevamento Indirizzo
Gas rilevati SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2
Distanza di misura 1 - 264 ppm (0 - 200 mTorr)
Ripetibilità ± 0,5%
Linearità ± 1% F.S.
Limite di rilevamento 1 ppm

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