Luogo di origine:
Cina
Marca:
KACISE
Certificazione:
CE
Numero di modello:
KGD-MQ-537
Il sensore a gas a infrarossi KGD-MQ-537 utilizza la tecnologia a infrarossi non dispersivi (NDIR) per misurare con precisione gas tra cui SiF4, CF4, SF6, NF3 e CO2 nelle applicazioni per semiconduttori.Progettato con compatibilità per dimensioni comuni di apparecchiature, flange e protocolli di comunicazione, questo sensore è ideale per il rilevamento dei punti terminali nei processi di deposizione e pulizia dei semiconduttori, nonché per il rilevamento dei terminali per la pulizia delle camere,ridurre il tempo di pulizia, ridurre i costi e aumentare la produzione.
| Parametro | Dettagli |
|---|---|
| Principio di rilevamento | Indirizzo |
| Gas rilevati | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| Distanza di misura | 1-264ppm (0-200mTorr) |
| Ripetibilità | ± 0,5% |
| Linearità | ± 1% F.S. |
| Limite di rilevamento | 1 ppm |
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